超純水后處理系統(tǒng)工藝介紹

超純水后處理系統(tǒng)工藝示意圖及功能簡介

系統(tǒng)裝置功能介紹：

1、水質(zhì)提升：

通常用在EDI后將EDI純水提升到18.2M的超純水標準；

2、解決二次污染

超純水儲存于水箱中，會因空氣溶解影響，以及管道與水箱等對超純水造成二次污染。本系統(tǒng)可對已有少許污染的超純水再次處理后達到18.2M的標準。

3、顆粒雜質(zhì)去除

超純水除了離子雜質(zhì)外，管道及接觸超純水部分的部件，濾料等會有微量的顆粒物進入到超純水當中，這就需要后置微米過濾器，過濾精度可達到0.1微米，或0.01微米級別。經(jīng)過后置過濾器，超純水標準顆粒物達到一個更高精度。

圖中超純水設(shè)備配置的后處理系統(tǒng)，上圖紅色框內(nèi)即為后處理部分。