【技術(shù)創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展 仟凈環(huán)保高純水系統(tǒng)賦能半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈升級】

  【技術(shù)創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展 仟凈環(huán)保高純水系統(tǒng)賦能半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈升級】 在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化進程加速的背景下，仟凈環(huán)保近日宣布其新一代超純水制備系統(tǒng)已形成完整解決方案矩陣，成功應(yīng)用于國內(nèi)多家重點半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)。作為專注精密水處理領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)，公司依托自主知識產(chǎn)權(quán)的多級過濾核心技術(shù)，持續(xù)為化合物半導(dǎo)體制造、芯片封裝測試、電子級化學(xué)品生產(chǎn)等關(guān)鍵環(huán)節(jié)提供高純度水質(zhì)保障。

針對第三代半導(dǎo)體材料制造的特殊需求，仟凈環(huán)保研發(fā)團隊突破傳統(tǒng)工藝瓶頸，創(chuàng)新性開發(fā)出多梯度膜分離技術(shù)。該技術(shù)通過精確控制18道水質(zhì)參數(shù)，可實現(xiàn)持續(xù)穩(wěn)定產(chǎn)出18.2MΩ·cm超純水，關(guān)鍵指標(biāo)達(dá)到國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會（SEMI）E63標(biāo)準(zhǔn)。目前該解決方案已成功導(dǎo)入碳化硅外延片生產(chǎn)、12英寸晶圓封裝、光刻膠稀釋等20余種核心制程場景。

"我們始終聚焦精密制造領(lǐng)域的提質(zhì)增效需求"，仟凈環(huán)保技術(shù)總監(jiān)表示，"通過構(gòu)建智能化水質(zhì)監(jiān)控平臺，我們的系統(tǒng)可實時追蹤TOC、溶解氧等12項關(guān)鍵指標(biāo)，結(jié)合大數(shù)據(jù)預(yù)測性維護功能，設(shè)備綜合運行效率提升30%以上。"據(jù)悉，該解決方案已覆蓋華南、華東、西南等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)，累計服務(wù)客戶包括3家全球TOP10半導(dǎo)體材料供應(yīng)商及8家晶圓制造企業(yè)。  

在雙碳目標(biāo)引領(lǐng)下，仟凈環(huán)保同步推進綠色工藝創(chuàng)新。新一代設(shè)備采用模塊化節(jié)能設(shè)計，相較傳統(tǒng)設(shè)備實現(xiàn)單位水耗降低25%，廢水中和回用率提升至92%。企業(yè)現(xiàn)已形成包含工藝設(shè)計、設(shè)備集成、運維服務(wù)的全周期服務(wù)體系，正在籌建長三角研發(fā)中心，重點攻關(guān)極紫外光刻配套水處理等尖端領(lǐng)域。

此次技術(shù)升級標(biāo)志著國產(chǎn)超純水設(shè)備進入精密控制新階段，為半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化替代提供了重要基礎(chǔ)設(shè)施支撐。仟凈環(huán)保將持續(xù)深化產(chǎn)學(xué)研合作，重點突破納米級粒子控制技術(shù)，助力構(gòu)建安全可控的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈。