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芯片級(jí)半導(dǎo)體超純水,要求對(duì)硼,硅含量要達(dá)到1PPT以下。仟凈環(huán)保針對(duì)這種要求:設(shè)計(jì)以下除硼除硅工藝,可以達(dá)到0.1PPT以下的超純水。
具體方案包含::
超純水氮封水箱,供水泵,除TOC裝置,氣膜,除硼裝置,二級(jí)MB拋光,顆粒去除裝置等。
多個(gè)芯片超純水成功案例。
技術(shù)QQ:422248617蕭工。
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