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1.1. 項(xiàng)目名稱:3套25T/H超純水制水系統(tǒng)
1.2. 所屬行業(yè): 半導(dǎo)體行業(yè)
1.3. 工藝要求:多介質(zhì)+ 性炭+阻垢劑+雙級(jí)反滲透+EDI+雙級(jí)脫氣+雙級(jí)TOC裝置+雙級(jí)SMB+UF+恒壓供水系統(tǒng)
1.4. 工藝特點(diǎn):本系統(tǒng)采用3組25T/H制水系統(tǒng)并聯(lián)使用,可互為備用。單組設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)、檢修時(shí)不影響生產(chǎn)用水。
1.5. 控制方式:PLC+觸摸屏全自動(dòng)控制,系統(tǒng)相關(guān)設(shè)備受“水箱液位+壓力+流量”連鎖控制自動(dòng)運(yùn)行。
1.6. 系統(tǒng)回收率:≥70%。
1.7. 用水量及使用條件:
制水量 | 用水時(shí)長(zhǎng)/天 | 純水啟動(dòng)壓力 | 純水在用水壓力 |
75噸/H | 20小時(shí) | >0.4MPa | >0.3MPa |
2. 場(chǎng)地要求:
2.1. 進(jìn)水及排放要求: 應(yīng)保證供給水源是連續(xù)穩(wěn)定的,每小時(shí)流量應(yīng)≥110m3/h。應(yīng)預(yù)留相應(yīng)的地漏或排水設(shè)施滿足排水通暢。
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