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要使超純水達(dá)到電子級(jí)的標(biāo)準(zhǔn),需要進(jìn)行以下幾個(gè)方面的處理:
1.預(yù)處理:將原水進(jìn)行過(guò)濾、軟化、除氧等處理,以去除水中的懸浮物、有機(jī)物、氣體等雜質(zhì)。
2.反滲透:將經(jīng)過(guò)預(yù)處理的水通過(guò)反滲透膜進(jìn)行過(guò)濾,去除水中的大部分離子、微生物等雜質(zhì)。
3.電離交換:將反滲透后的水通過(guò)電離交換樹脂進(jìn)行進(jìn)一步處理,去除水中的離子等雜質(zhì)。
4.混床:將電離交換后的水通過(guò)混床器進(jìn)行進(jìn)一步處理,去除水中的余量離子等雜質(zhì)。
5.消毒:對(duì)處理后的水進(jìn)行消毒處理,以殺滅水中的微生物。
6.在線監(jiān)測(cè):對(duì)處理后的水進(jìn)行在線監(jiān)測(cè),以確保水質(zhì)的純度。
在超純水制備過(guò)程中,需要嚴(yán)格控制各個(gè)環(huán)節(jié)的操作和水質(zhì)的監(jiān)測(cè),以確保水質(zhì)達(dá)到電子級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)。此外,超純水的貯存和輸送也需要進(jìn)行特殊的處理,以避免水質(zhì)受到污染和變質(zhì)。
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