半導體DI水中顆粒過濾及細菌控制

顆粒過濾、捕集過濾和系統(tǒng)預過濾

去除沉積物和其他懸浮顆粒對于任何水處理系統(tǒng)的高效、經(jīng)濟運行都至關重要。使用深層過濾介質(zhì)進行顆粒過濾器，防止過量顆粒污染初始處理步驟。反滲透系統(tǒng)預過濾器可保持反滲透膜的性能并降低反滲透膜清潔的頻率。

在工藝用水通過處理設備（如含有活性炭粉末的罐或含有樹脂珠的軟化和去離子罐）后，使用捕集過濾器。這些粉末或樹脂可能會分解、斷裂并釋放小顆粒。過濾器用于捕獲顆粒并防止污染下游處理工藝步驟。

細菌控制

有許多可能的細菌和其他生物可以進入處理過程，但所有這些都可以使用膜過濾器去除。生物體可以通過多種方式進入系統(tǒng)。一種是源水，它本身通常攜帶非致病性生物。系統(tǒng)維護是細菌進入系統(tǒng)的另一種常見方式。當設備打開更換零件或清潔時，內(nèi)部零件暴露在環(huán)境空氣中，使空氣中的細菌進入系統(tǒng)。

制藥用水系統(tǒng)中的細菌控制通常使用熱量（將系統(tǒng)保持在70°C以上的溫度）和附加方法完成，包括過濾，可選。兩張圖都顯示了紫外線燈，然后是過濾器，以去除細菌被燈殺死時產(chǎn)生的“細菌碎片”。細菌過濾器基于膜，孔徑為0.10μm至0.45μm，具體取決于設施的政策。它們將捕獲大部分（如果不是全部）碎片并保護下游過程。

使用點細菌過濾

一些設施可能會使用滅菌過濾器作為防止系統(tǒng)中細菌紊亂的最終保險。如果使用，這些膜過濾器通常具有0.22μm的孔徑額定值，盡管一些操作員選擇使用0.10μm孔徑過濾器。該過濾器是保護下游工藝免受細菌污染的最關鍵過濾器。

超細顆粒去除

為了確保電子/半導體系統(tǒng)分配回路中的超純水（UPW）保持純凈，過濾器C和D用于去除可能進入系統(tǒng)的污染物或系統(tǒng)組件脫落的顆粒。這些過濾器可用于減少生物負荷、滅菌過濾或超細顆粒去除?？讖綖?0.10 μm 的膜過濾器用作過濾器 C.過濾器 D 使用切向流超濾器或 0.03 μm 額定死端過濾器?？梢赃x擇使用帶正電荷的膜的過濾器，因為它能夠去除有機分子，包括小于膜孔徑的熱原。

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