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半導(dǎo)體DI水中顆粒過(guò)濾及細(xì)菌控制

作者:凈心來(lái)源:仟凈網(wǎng)址:http://www.zjjkfund.cn/

顆粒過(guò)濾、捕集過(guò)濾和系統(tǒng)預(yù)過(guò)濾

去除沉積物和其他懸浮顆粒對(duì)于任何水處理系統(tǒng)的高效、經(jīng)濟(jì)運(yùn)行都至關(guān)重要。使用深層過(guò)濾介質(zhì)進(jìn)行顆粒過(guò)濾器,防止過(guò)量顆粒污染初始處理步驟。反滲透系統(tǒng)預(yù)過(guò)濾器可保持反滲透膜的性能并降低反滲透膜清潔的頻率。

在工藝用水通過(guò)處理設(shè)備(如含有活性炭粉末的罐或含有樹(shù)脂珠的軟化和去離子罐)后,使用捕集過(guò)濾器。這些粉末或樹(shù)脂可能會(huì)分解、斷裂并釋放小顆粒。過(guò)濾器用于捕獲顆粒并防止污染下游處理工藝步驟。

細(xì)菌控制

有許多可能的細(xì)菌和其他生物可以進(jìn)入處理過(guò)程,但所有這些都可以使用膜過(guò)濾器去除。生物體可以通過(guò)多種方式進(jìn)入系統(tǒng)。一種是源水,它本身通常攜帶非致病性生物。系統(tǒng)維護(hù)是細(xì)菌進(jìn)入系統(tǒng)的另一種常見(jiàn)方式。當(dāng)設(shè)備打開(kāi)更換零件或清潔時(shí),內(nèi)部零件暴露在環(huán)境空氣中,使空氣中的細(xì)菌進(jìn)入系統(tǒng)。

制藥用水系統(tǒng)中的細(xì)菌控制通常使用熱量(將系統(tǒng)保持在70°C以上的溫度)和附加方法完成,包括過(guò)濾,可選。兩張圖都顯示了紫外線燈,然后是過(guò)濾器,以去除細(xì)菌被燈殺死時(shí)產(chǎn)生的“細(xì)菌碎片”。細(xì)菌過(guò)濾器基于膜,孔徑為0.10μm至0.45μm,具體取決于設(shè)施的政策。它們將捕獲大部分(如果不是全部)碎片并保護(hù)下游過(guò)程。

使用點(diǎn)細(xì)菌過(guò)濾

一些設(shè)施可能會(huì)使用滅菌過(guò)濾器作為防止系統(tǒng)中細(xì)菌紊亂的最終保險(xiǎn)。如果使用,這些膜過(guò)濾器通常具有0.22μm的孔徑額定值,盡管一些操作員選擇使用0.10μm孔徑過(guò)濾器。該過(guò)濾器是保護(hù)下游工藝免受細(xì)菌污染的最關(guān)鍵過(guò)濾器。

超細(xì)顆粒去除

為了確保電子/半導(dǎo)體系統(tǒng)分配回路中的超純水(UPW)保持純凈,過(guò)濾器C和D用于去除可能進(jìn)入系統(tǒng)的污染物或系統(tǒng)組件脫落的顆粒。這些過(guò)濾器可用于減少生物負(fù)荷、滅菌過(guò)濾或超細(xì)顆粒去除??讖綖?0.10 μm 的膜過(guò)濾器用作過(guò)濾器 C.過(guò)濾器 D 使用切向流超濾器或 0.03 μm 額定死端過(guò)濾器??梢赃x擇使用帶正電荷的膜的過(guò)濾器,因?yàn)樗軌蛉コ袡C(jī)分子,包括小于膜孔徑的熱原。

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